ルーツ・ブースター・ポンプステーション

  • バイパスを装備し高い信頼性のために、パッケージングのプロセスのバック アップとして、速いサイクルタイムをもつブースター・ポンプ(ルーツ)と潤滑 油式ロータリーベーン真空ポンプにて構成

PS

ルーツ・ブースター・ポンプ

500 m³/h • <0.1 mbar • 50 Hz

600 m³/h • <0.1 mbar • 60 Hz

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500 m³/h • <0.1 mbar • 50 Hz

600 m³/h • <0.1 mbar • 60 Hz

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1000 m³/h • <0.1 mbar • 50 Hz

1200 m³/h • <0.1 mbar • 60 Hz

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2000 m³/h • <0.1 mbar • 50 Hz

2400 m³/h • <0.1 mbar • 60 Hz

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真空システム

  • 1,2もしくは3つのロータリーベーン真空ポンプ
  • ドライ式(D)もしくはオイル潤滑式(L)
  • キャビネット33Dを持つD1,D2,L1及びL2
  • キャビネットVARIAIR コントローラー+(VC+)を持つD3及びL3
  • 持つD3及びL3 • 真空容器(真空受器),縮合排気,吸引フィルタ

D-Systems(VT, VX, VTLF & VXLFのオイルフリー真空ポンプに)

D1 - D3

1x 16 m³/h – 1x 244 m³/h • 200 – 100 mbar • 50 Hz

1x 19 m³/h – 1x 276 m³/h • 200 – 100 mbar • 60 Hz

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2x 16 m³/h – 2x 244 m³/h • 200 – 100 mbar • 50 Hz

2x 19 m³/h – 2x 276 m³/h • 200 – 100 mbar • 60 Hz

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3x 25 m³/h – 3x 129 m³/h • 200 – 100 mbar • 50 Hz

3x 30 m³/h – 3x 154 m³/h • 200 – 100 mbar • 60 Hz

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L-Systems(Oシリーズや Uシリーズのような潤滑式真空ポンプに)

L1 - L3

1x 18 m³/h – 1x 300 m³/h • 1.0 – 0.1 mbar • 50 Hz

1x 21 m³/h – 1x 360 m³/h • 1.5 – 0.1 mbar • 60 Hz

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2x 18 m³/h – 2x 300 m³/h • 1.0 – 0.1 mbar • 50 Hz

2x 21 m³/h – 2x 360 m³/h • 1.5 – 0.1 mbar • 60 Hz

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3x 18 m³/h – 3x 300 m³/h • 1.0 – 0.1 mbar • 50 Hz

3x 21 m³/h – 3x 360 m³/h • 1.5 – 0.1 mbar • 60 Hz

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