ルーツ・ブースター・ポンプステーション
- バイパスを装備し高い信頼性のために、パッケージングのプロセスのバック アップとして、速いサイクルタイムをもつブースター・ポンプ（ルーツ）と潤滑 油式ロータリーベーン真空ポンプにて構成
PS
真空システム
- 1,2もしくは3つのロータリーベーン真空ポンプ
- ドライ式(D)もしくはオイル潤滑式(L)
- キャビネット33Dを持つD1,D2,L1及びL2
- キャビネットVARIAIR コントローラー+(VC+)を持つD3及びL3
- 持つD3及びL3 • 真空容器(真空受器),縮合排気,吸引フィルタ
D-Systems（VT, VX, VTLF & VXLFのオイルフリー真空ポンプに）
D1 - D3
1x 16 m³/h – 1x 244 m³/h • 200 – 100 mbar • 50 Hz
1x 19 m³/h – 1x 276 m³/h • 200 – 100 mbar • 60 Hz
2x 16 m³/h – 2x 244 m³/h • 200 – 100 mbar • 50 Hz
2x 19 m³/h – 2x 276 m³/h • 200 – 100 mbar • 60 Hz
3x 25 m³/h – 3x 129 m³/h • 200 – 100 mbar • 50 Hz
3x 30 m³/h – 3x 154 m³/h • 200 – 100 mbar • 60 Hz
L-Systems（Oシリーズや Uシリーズのような潤滑式真空ポンプに）
L1 - L3
1x 18 m³/h – 1x 300 m³/h • 1.0 – 0.1 mbar • 50 Hz
1x 21 m³/h – 1x 360 m³/h • 1.5 – 0.1 mbar • 60 Hz
2x 18 m³/h – 2x 300 m³/h • 1.0 – 0.1 mbar • 50 Hz
2x 21 m³/h – 2x 360 m³/h • 1.5 – 0.1 mbar • 60 Hz
3x 18 m³/h – 3x 300 m³/h • 1.0 – 0.1 mbar • 50 Hz
3x 21 m³/h – 3x 360 m³/h • 1.5 – 0.1 mbar • 60 Hz
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