1. ロータリーベーン式ドライポンプ
VT4.4 - VT4.8
VT4.10 - VT4.40
KVT
VTLF
VX
KVX
VXLF
VARIAIR KVT/KVX
76 m³/h • 100 mbar
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112 m³/h • 100 mbar
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145 m³/h • 100 mbar
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VARIAIR VTLF/VXLF
405 m³/h • 250 mbar
2.ロータリーベーン式ドライポンプ（オイル式）
O5.4 - O5.8
O5.10 - O5.25
U5
100 m³/h • <0.1 mbar • 50 Hz
120 m³/h • <0.1 mbar • 60 Hz
165 m³/h • <0.1 mbar • 50 Hz
198 m³/h • <0.1 mbar • 60 Hz
200 m³/h • <0.1 mbar • 50 Hz
240 m³/h • <0.1 mbar • 60 Hz
U4
U4
VARIAIR U5
140 m³/h • 0.1 mbar
240 m³/h • 0.1 mbar
330 m³/h • 0.1 mbar
3.スクリュー真空ポンプ
4.クロー真空ポンプ
BCV
VARIAIR BCV
120 m³/h • 50 mbar
180 m³/h • 100 mbar
325 m³/h • 150 mbar
5.サイドチャネル真空ポンプ
１段圧縮 (Single Stage)
SV130/1 - SV300/1
SV400/1 - SV1100/1
VARIAIR SV...1
285 m³/h • -350 mbar • 100 Hz
350 m³/h • -310 mbar • 100 Hz
865 m³/h • -340 mbar • 100 Hz
1000 m³/h • -370 mbar • 100 Hz
1180 m³/h • -336 mbar • 80 Hz
VASF .../1
2段圧縮 (Double Stage)
SV130/2 - SV300/2
SV400/2- SV1100/2
VARIAIR SV...2
140 m³/h • -410 mbar • 100 Hz
175 m³/h • -420 mbar • 100 Hz
320 m³/h • -410 mbar • 100 Hz
VASF .../2
24 m³/h • -560 mbar AC / -550 mbar DC • 300 Hz
45 m³/h • -500 mbar AC / -570 mbar DC • 250 Hz
71 m³/h • -460 mbar AC • 200 Hz
6.ラジアル真空ポンプ
7.ルーツブースター真空ポンプ
RBP 500 - 2000
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